| 主权项 |
1.一种用来将一基板密封在一基板支撑件上的装置,其系包含:一个基底部分;以及一个与该基底部分连通的密封部分,该密封部分系被配置一种皱折外型。2.如申请专利范围第1项的装置,其中该密封部分系包括:一个与该基底部分连通的第一臂部构件;一个与该第一臂部构件连通的第二臂部构件;以及一个介于该第一臂部构件与第二臂部构件之间"U"型的沟槽,该"U"型的沟槽系界定在该密封部分中的皱折外型。3.如申请专利范围第2项的装置,其中该第一臂部构件与第二臂部构件系被装配成当该密封部分在无压缩及压缩状态之间移动时使得该密封部分线性地移动。4.如申请专利范围第2项的装置,其中该第二臂部构件系包括至少一个突出。5.如申请专利范围第4项的装置,其中该突出系包括至少一个边缘,该至少一个边缘是一个环状外型。6.一种用来夹住一基板的装置,其系包括:一个基板支撑件;一个耦接至该基板支撑件的箝具,该箝具被配置成用来在一个第一非活动位置及一个第二活动位置间移动,其中一个基板被固定在该基板支撑件上;以及一个被置于该基板支撑件的周边上之有皱折外型的密封,该密封被配置以提供一个在该基板支撑件及基板之间的密封。7.如申请专利范围第6项的装置,其中该密封系包含:一个与该基底部分连通的第一臂部构件;一个与该第一臂部构件连通的第二臂部构件;以及一个介于该第一臂部构件与第二臂部构件之间"U"型的沟槽,该"U"型的沟槽系界定在该密封中的皱折外型。8.如申请专利范围第7项的装置,其中该第一臂部构件与第二臂部构件被装配成当该密封在无压缩及压缩状态之间移动时使得该密封线性地移动。9.如申请专利范围第8项的装置,其中该第二臂部构件包括至少一个突出。10.如申请专利范围第9项的装置,其中该突出包括至少一个边缘,该至少一个边缘具有一个环状外型。11.如申请专利范围第6项的装置,其中该箝具是一个机械式箝具。12.如申请专利范围第6项的装置,其中该箝具是一个静电式箝具。13.一种用来在一制程腔体中夹住一基板的装置,其系包含:一个被配置成用以将该基板支撑在一夹具的上表面之箝具;一个基板释放器;以及一个用来将该基板密封在该夹具上之有皱折外型的密封,该密封被配置成用来在该夹具的周边扩张。14.如申请专利范围第13项的装置,其中该密封系包含:一个与该基底部分连通的第一臂部构件;一个与该第一臂部构件连通的第二臂部构件;以及一个介于该第一臂部构件与第二臂部构件之间"U"型的沟槽,该"U"型的沟槽系界定在该密封中的皱折外型。15.如申请专利范围第14项的装置,其中该第一臂部构件与第二臂部构件被装配成当该密封在无压缩及压缩状态之间移动时使得该密封线性地移动。16.如申请专利范围第8项的装置,其中该第二臂部构件包括至少一个突出。17.如申请专利范围第16项的装置,其中该突出包括至少一个边缘,该至少一个边缘具有一个环状外型。18.如申请专利范围第13项的装置,其中该箝具是一个机械式箝具,而该夹具是一个机械式夹具。19.如申请专利范围第13项的装置,其中该箝具是一个静电式箝具,而该夹具是一个静电式夹具。20.如申请专利范围第13项的装置,其中该基板释放器系包含脱离针。21.一种以机械方式将一基板夹在一基板支撑件的方法,其系包括:提供一个置于该基板支撑件的周边之有皱折外型的密封,该密封系包括一个界定该皱折外型的沟槽,该沟槽被配置使得该密封的部分在压缩及无压缩位置间移动;放置一个具有周围边缘的基板在该密封之上;并且以机械方式将该基板夹在该基板支撑件上,其系包括移动该密封到一压缩位置,并且维持与该基板的密封接合。22.如申请专利范围第21项的方法,其中将该密封移动到一个压缩位置系包括产生一个在该密封的一部分和基板之间滚动的接触,以维持在该密封和基板之间的密封。23.如申请专利范围第21项的方法,其更包括释放作用在该基板上的机械式的箝制,将该密封去除压缩而且使得该密封施加一线性的运动给该基板作为对准以便于拾起。24.如申请专利范围第23项的方法,其中该去除压缩系包括在该密封的一部分以及该基板之间产生一滚动的接触。25.一种以静电方式将一基板夹在一基板支撑件的方法,其系包括:提供一个置于该基板支撑件周边的皱折外型密封,该密封包括一个界定该皱折外型的沟槽,该沟槽被配置使得该密封之部分在压缩及无压缩位置间移动;放置具有一个周围边缘的基板在该密封之上;并且以静电方式将该基板夹在该基板支撑件上,其系包括移动该密封到一压缩位置,并且维持与该基板的密封接合。26.如申请专利范围第25项的方法,其中将该密封移动到一个压缩位置系包括产生一个在该密封的一部分和基板之间滚动的接触,以维持在该密封和基板之间的密封。27.如申请专利范围第25项的方法,其更包括释放作用在该基板上的静电式的箝制,将该密封去除压缩而且使得该密封施加一线性的运动给该基板作为对准以便于拾起。28.如申请专利范围第27项的方法,其中该去除压缩系包括在该密封的一部分以及该基板之间产生一滚动的接触。29.一种将一基板夹在一基板支撑件之上用于处理的方法,其系包括:提供一个置于该基板支撑件周边的皱折外型密封,该密封系包括一个界定该皱折外型的沟槽,该沟槽被配置使得该密封之部分在压缩及无压缩位置间移动;放置具有一个周围边缘的基板在该密封之上;并且将该基板夹在该基板支撑件上,其系包括移动该密封到一压缩位置,并且维持与基板的密封接合。30.如申请专利范围第29项的方法,其中将该密封移动到一个压缩位置系包括产生一个在该密封的一部分和基板之间滚动的接触,以维持在该密封和基板之间的密封。31.如申请专利范围第29项的方法,其更包括释放作用在该基板上的箝制,将该密封去除压缩而且使得该密封施加一线性的运动给该基板作为对准以便于拾起。32.如申请专利范围第31项的方法,其中该去除压缩包括在该密封的一部分以及该基板之间产生一滚动的接触。33.如申请专利范围第29项的方法,该箝制方式是藉由机械力。34.如申请专利范围第29项的方法,该箝制方式是藉由静电力。图式简单说明:图1是根据本发明的装置的一个实施例概图;图2A是该项装置在该密封构件处于不被压缩的位置时沿着图1的线2A-2A的剖面图;图2B是在图2A中圆圈BB的密封构件的详细剖面图;图3是本发明的密封构件在被压缩位置时的剖面图;图4是本发明的密封构件施加线性动作时的剖面图;图5是图1的装置与一个被夹在上面的基板在操作时的剖面图;图6A是图1的装置与一个经由该装置而被移开的基板在操作时的剖面图;图6B是图1的装置与一个基板及一个负载着压缩弹簧的脱离针在操作时的剖面图;并且图6C是图1的装置与一个基板及一个正在将基板从该装置举起的负载着无压;缩弹簧的脱离针在操作时的剖面图。 |
