| 主权项 |
1.一种安装方法,系在将具备金属接合部的被接合物间予以接合之安装方法中,于将被接合物间予以接合之前,在形成于相对向之二被接合物间的间隙内,形成能量波或能量粒子的流动区域,然后利用流动的能量波或能量粒子,将二被接合物的金属接合部表面予以实质的同时洗净后,再将经洗净而表面活性化的二被接合物的金属接合部间予以接合。2.如申请专利范围第1项之安装方法,其中,在将于大气中所搬送至的被接合物间予以接合之前,便将二被接合物的金属接合部表面实质的同时洗净,然后再将经洗净而表面活性化的二被接合物的金属接合部间予以接合。3.如申请专利范围第1项之安装方法,其中,将被接合物的金属接合部,在洗净腔内利用能量波或能量粒子进行洗净之后,将被接合物移送至接合腔内,在将该接合腔内形成非活性气体环境或真空,且将被接合物间进行接合之前,便将二被接合物的金属接合部表面实质的同时洗净,然后将经洗净而使表面活性化的二被接合物之金属接合部间予以接合。4.如申请专利范围第1项之安装方法,其中,将被接合物的金属接合部,在洗净腔内利用能量波或能量粒子予以洗净之后,便一边利用非氧化性气体进行迫净,一边搬送至大气中,在将新搬送至的被接合物间予以接合之前,将二被接合物的金属接合部表面予以实质的同时洗净,然后将经洗净而表面被活性化的二被接合物之金属接合部间予以接合。5.如申请专利范围第1项之安装方法,其中,在相对向的二被接合物间所形成的间隙内,从侧边流动能量波或能量粒子。6.如申请专利范围第1项之安装方法,其中,在同时洗净时,二被接合物中至少其中一者,倾斜于能量波或能量粒子的流动方向。7.如申请专利范围第1项之安装方法,其中,将同时洗净时的能量波或能量粒子流动方向设定为复数方向,且二被接合物中至少其中一者倾斜于流动方向。8.如申请专利范围第1项之安装方法,其中,实施二被接合物的接合之前,至少将二被接合物间的部分,对周围形成真空状态,并于该二被接合物间的部分中,流动着能量波或能量粒子,俾实质的同时洗净二被接合物的金属接合部表面。9.如申请专利范围第1项之安装方法,其中,能量波或能量粒子系电浆。10.如申请专利范围第9项之安装方法,其中,经由喷嘴供应电浆。11.如申请专利范围第9项之安装方法,其中,在平行平板电极间产生电浆。12.如申请专利范围第11项之安装方法,其中,系一边电切换接地端电极一边进行洗净。13.如申请专利范围第1项之安装方法,其中,能量波或能量粒子系离子束。14.如申请专利范围第8项之安装方法,其中,在洗净后,至少将被接合物暂时取代为非氧化性气体,然后再将二被接合物在大气压中进行接合。15.如申请专利范围第8项之安装方法,其中,当将二被接合物进行接合之时,便静电保持着至少其中之一被接合物。16.如申请专利范围第1项之安装方法,其中,利用超音波接合机构实施二被接合物间的接合。17.一种安装方法,其特征为,在将具备金属接合部的被接合物间予以接合之安装方法中,在使二被接合物呈相对向并保持着的机构中,设置各自的电浆产生用电极,再使二电极间产生电浆并将被接合物之金属接合部予以洗净,同时藉由切换二电极的极性而切换所产生电浆的照射方向,俾洗净二被接合物之金属接合部,然后将经由洗净而表面被活性化的二被接合物之金属接合部间予以接合。18.如申请专利范围第17项之安装方法,其中,在非活性气体环境或真空状态下实施上述洗净。19.一种安装装置,其特征为,将具备金属接合部之被接合物间予以接合的安装装置,具有封在接合前相对向的二被接合物间所形成的间隙内,供应着可将二被接合物之金属接合部表面实质的同时洗净之能量波或能量粒子的能量波或能量粒子供应机构。20.如申请专利范围第19项之安装装置,其中,具备有:将被接合物之金属接合部,利用能量波或能量粒子予以洗净的洗净腔;连接于该洗净腔,并将所搬送至的被接合物间,在非活性气体环境下、或真空下进行接合的接合腔;以及在该接合腔内,于接合前便将二被接合物之金属接合部表面予以实质同时洗净的上述能量波或能量粒子供应机构。21.如申请专利范围第19项之安装装置,其中,具备有:将被接合物之金属接合部,利用能量波或能量粒子予以洗净的洗净腔;将经洗净过的被接合物,在大气中利用非氧化性气体进行迫净,并进行搬送的机构;在将所搬送至的被接合物间进行接合之前,便将二被接合物之金属接合部表面予以实质同时洗净的上述能量波或能量粒子供应机构。22.如申请专利范围第19项之安装装置,其中,二被接合物之至少其中之一的保持机构,系由在同时洗净时,可使二被接合物中至少其中一者,倾斜于能量波或能量粒子之流动方向的机构所构成。23.如申请专利范围第19项之安装装置,其中,能量波或能量粒子供应机构,系由可将能量波或能量粒子流动方向设定为复数方向,且可使流动方向倾斜于二被接合物中至少其中一者的机构所构成。24.如申请专利范围第19项之安装装置,其中,具备有使在二被接合物进行接合前,便至少使二被接合物间部分对周围呈真空状态的局部腔,在该局部腔内配设能量波或能量粒子供应机构的构造。25.如申请专利范围第24项之安装装置,其中,局部腔之至少其中一部份系由弹性密封材所构成。26.如申请专利范围第19项之安装装置,其中,接合前同时洗净用的能量波或能量粒子供应机构,系电浆产生装置。27.如申请专利范围第26项之安装装置,其中,电浆产生装置系电浆供应喷嘴。28.如申请专利范围第26项之安装装置,其中,电浆产生装置系含有产生电浆的平行平板电极。29.如申请专利范围第28项之安装装置,其中,具备有电切换接地端电极的机构。30.如申请专利范围第19项之安装装置,其中,接合前同时洗净用的能量波或能量粒子供应机构,系由离子束产生装置所构成。31.如申请专利范围第24项之安装装置,其中,具备有将洗净后至少被接合物间,暂时取代为非氧化性气体的机构。32.如申请专利范围第24项之安装装置,其中,接合时至少保持着其中之一被接合物的机构,系在基材内具备内部配线图案,且具有经由通电即便在真空中,亦可藉由静电力保持着被接合物的保持机构。33.如申请专利范围第32项之安装装置,其中,接合时至少保持着其中之一被接合物的机构,系在陶瓷基材内具备内部配线图案,且具有经由通电即便在真空中,亦可藉由静电力保持着被接合物的保持机构。34.如申请专利范围第33项之安装装置,其中,上述保持工具系具有二套系统的可加热之内部配线图案,并使该等形成了个别驱动的静电产生用与加热用之构造。35.如申请专利范围第32项之安装装置,其中,利用静电力而保持着被接合物的保持机构,系具备有兼具电浆产生用电极。36.如申请专利范围第19项之安装装置,其中,具有超音波接合机构。37.一种安装装置,其特征为,将具备有金属接合部的被接合物间予以接合的安装装置,在使二被接合物相对向保持的机构中,分别设有供将被接合物之金属接合部予以洗净的电浆产生用电极,且设有藉由切换二电极极性俾切换所产生电浆之照射方向的极性切换机构。38.如申请专利范围第37项之安装装置,其中,具备有在利用上述电装进行洗净时,至少使上述二电极间形成非活性气体或真空状态的机构。图式简单说明:图1为本发明第1实施形态的安装装置概略构造图。图2为图1所示装置中,配置多数个金属接合部之情况的部分立体示意图。图3为图1所示装置的变化例,附加气体填充机构之情时的概略构造图。图4为本发明第2实施形态之安装装置概略构造图。图5为本发明第3实施形态之安装装置的部分概略构造图。图6为本发明第4实施形态之安装装置的部分概略构造图。图7为本发明第5实施形态之安装装置的部分概略构造图。图8为本发明第6实施形态之安装装置的部分概略构造图。图9为本发明第7实施形态之安装装置的部分概略构造图。图10为本发明第8实施形态之安装装置的部分概略构造图。图11为本发明第9实施形态之安装装置的部分概略构造图。图12为本发明第10实施形态之安装装置的部分概略构图。图13为本发明第11实施形态之安装装置的概略构造图。图14为本发明第12实施形态之安装装置的部分概略构图。图15为从下面仰视图14所示装置之加热工具的概略放大立体示意图。图16为本发明第13实施形态之安装装置的概略构造图。图17为本发明第14实施形态之安装装置的概略构造图。图18为本发明第15实施形态之安装装置的概略构造图。 |
