| 主权项 |
1.一种标线检查装置,包括:一检查用雷射光源,用以发出一检查用雷射光;一物镜,用以凝聚该检查用雷射光,并以该被凝聚之检查用雷射光照射一标线;影像产生装置,根据自该标线所反射之该检查用雷射光及通过该标线之该检查用雷射光,来产生该标线之一影像并检查具有瑕疵之该标线之该影像;一自动聚焦雷射光源,用以在倾斜于该物镜之光轴之方向上,以一自动聚焦之雷射光通过该物镜并照射该标线;一位置感测器,用以检查该自动聚焦之雷射光之一入射位置,该自动聚焦之雷射光系反射自该标线且通过该物镜并入射至该位置感测器;透镜位置调控装置,根据该位置感测器之一输出信号来计算该物镜与该标线间的距离,并根据计算出之距离来调控该物镜之位置,以使该检查用雷射光之焦点位置与该标线之一检查位置一致;以及解析度判断装置,用以分析该标线之该影像之解析度并判断此解析度是否在一容忍范围内。2.如申请专利范围第1项所述之标线检查装置,其中该解析度判断装置系藉由比较该解析度判断装置之一解析度判断结果与一初步设定之参考资料来判断该位置感测器之位置是否在一容忍范围内。3.如申请专利范围第1项所述之标线检查装置,另包括位置感测器调控装置,以根据该解析度判断装置之该解析度判断结果来调控该位置感测器之位置。4.如申请专利范围第1项所述之标线检查装置,其中该物镜之位置系根据该解析度判断装置之该解析度判断结果而由该透镜位置调控装置来调控。图式简单说明:第1图绘示习知自动聚焦元件根据倾斜入射方法运作之方块图;第2图绘示本发明第一实施例的标线检查装置之方块图;第3图是标线16的线-空间图案的剖面图;第4图是一图表,纵坐标代表标线的影像资料的光强度分布,横坐标代表标线基底上线-空间图案之定位方向位置,其中影像资料的光强度是藉由标线检查装置检查线-空间图案而获得;第5图是空间频率特性(亦即,模组转换函数MTF)之图表,横坐标代表每1毫米之线数,而纵坐标代表MTF;第6A图绘示一自动修正运作图,可自动地修正由标线反射至位置感测器之自动聚焦雷射光的入射位置及物镜对标线的位置间之关系,且绘示此关系处于最初被调控的状态且标线检查装置是正常状态;第6B图同于第6A图,除了绘示在第6A图之关系因检查装置长时间的结构变形而偏移,且影像资料的解析度变成在容忍范围外;第7图绘示本发明第二实施例的标线检查装置之方块图;以及第8图是一图表,其绘示物镜相对于标线的位置与标线影像解析度间之关系,横坐标代表物镜的位置,而纵坐标代表标线的影像资料的解析度。 |
