| 主权项 |
1.一种藉由离子移动光谱测定法测量氩、氢、氮及氦中水浓度之方法,其特征为包括以下操作步骤:-将欲分析之气体混合物导入具有逆向纯气体流的离子移动光谱测定(IMS)设备(10)中;-得到该时间内之信号(19)变数,与该离子移动光谱测定(IMS)设备(10)之离子侦测器(14)所侦测之离子数目成比例;-测定两个时间间距(A,B),其相对应于H3O+及(H2O)2+离子于该离子移动光谱测定(IMS)设备(10)内之漂移时间;-得到于该两测定时间间距(A,B)中之信号(19)尖峰;根据信号(19)中所得之两尖峰强度间的比例计算该气体混合物中的水浓度。2.如申请专利范围第1项之方法,其中该所分析之气体中之水浓度系藉由下式计算:-ppbH2O-Kln((HB+HA)/HA),其中-PPbH2O系为以ppb计之水浓度,-K系为正常数,-HA系为于时间间距(A)中之信号(19)之尖峰强度,该时间间距(A)系对应于该H3O+离子于IMS设备(10)中之漂移时间;且-HB系为于时间间距(B)中之信号(19)之尖峰强度,该时间间距(B)系对应于该(H2O)2+离子于IMS设备(10)中之漂移时间。3.如申请专利范围第2项之方法,其中该尖峰面积系作为其强度之量度。4.如申请专利范围第2项之方法,其中该尖峰之高度系作为其强度之量度。5.如前述申请专利范围中任一项的方法,其中该对应于H3O+及(H2O)2+离子于该IMS设备(10)内之漂移时间的两时间间隔(A,B)系以一前导性测试来决定,使用之操作参数値系等于实际分析使用者。6.如申请专利范围第5项之方法,其中该操作参数系至少包括所分析之气体混合物的温度。7.如申请专利范围第6项之方法,其中该操作参数亦包括该IMS设备(10)之分离区(12)中的电场。8.如申请专利范围第5项之方法,其中该分析系使用温度110℃之气体及在分离区(12)中128伏特/厘米之电场进行,而对应于H3O+及(H2O)2+离子于该IMS设备(10)内之漂移时间的两时间间距(A,B)系包括介于15.5与17毫秒(A)之间及介于17与19毫秒(B)之间。图式简单说明:图1出示进行本发明方法之设备的剖面图;图2出示经由图1之设备所得之部分光谱;且图3系出示图1设备之部分试验图。 |
