| 摘要 |
<p>Für ein mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement wird vorgeschlagen, die Elektrodenstruktur (ES) über einer mechanisch stabilen Anpassungsschicht (AS) anzuordnen, die zum Ab-bau des elektromechanischen Stresses dient. Weitere Verbesse-rungen der Leistungsverträglichkeit werden mit zusätzlichen Zwischenschichten (ZS) und seitlich oder ganzflächig über der Elektrodenstruktur aufgebrachten Passivierungsschichten (PS) erzielt.</p> |
