发明名称 |
Einkristall aus Silicium und Verfahren zu dessen Herstellung |
摘要 |
Gegenstand der Erfindung ist ein Einkristall aus Silicium, der gemäß der Czochralski-Methode hergestellt worden ist und eine <113>-Orientierung aufweist. |
申请公布号 |
DE10205085(A1) |
申请公布日期 |
2003.08.21 |
申请号 |
DE2002105085 |
申请日期 |
2002.02.07 |
申请人 |
WACKER SILTRONIC AG |
发明人 |
AMMON, WILFRIED VON;DANTZ, DIRK;ZEMKE, DIRK;SEGIETH, FRANZ |
分类号 |
C30B29/06;C30B15/00;C30B15/36;(IPC1-7):C30B15/20 |
主分类号 |
C30B29/06 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|