发明名称 Einkristall aus Silicium und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要 Gegenstand der Erfindung ist ein Einkristall aus Silicium, der gemäß der Czochralski-Methode hergestellt worden ist und eine <113>-Orientierung aufweist.
申请公布号 DE10205085(A1) 申请公布日期 2003.08.21
申请号 DE2002105085 申请日期 2002.02.07
申请人 WACKER SILTRONIC AG 发明人 AMMON, WILFRIED VON;DANTZ, DIRK;ZEMKE, DIRK;SEGIETH, FRANZ
分类号 C30B29/06;C30B15/00;C30B15/36;(IPC1-7):C30B15/20 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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