发明名称 Verfahren zur optoelektronischen Erkennung von scheibenförmigen Objekten unter Nutzung derer Stirnseiten
摘要
申请公布号 DE19728478(C2) 申请公布日期 2003.08.21
申请号 DE1997128478 申请日期 1997.07.03
申请人 BROOKS-PRI AUTOMATION (GERMANY)GMBH 发明人 SCHULTZ, KLAUS;KADEN, SEBASTIAN
分类号 G01B11/00;B65G49/07;G01V9/00;G06T1/00;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):G01D5/30;G01V8/12;G01B11/14 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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