发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterspeicherbauelementes mit einem Kondensator
摘要
申请公布号 DE4328510(C2) 申请公布日期 2003.08.21
申请号 DE19934328510 申请日期 1993.08.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, YUN-GI;LEE, JEUNG-GIL
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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