| 发明名称 |
CHARACTERIZATION AND COMPENSATION OF NON-CYCLIC ERRORS IN INTERFEROMETRY SYSTEMS |
| 摘要 |
Sytems and methods for characterizing and compensating non-cyclic errors in interferometers components are disclosed. |
| 申请公布号 |
WO03069264(A2) |
申请公布日期 |
2003.08.21 |
| 申请号 |
WO2003US04318 |
申请日期 |
2003.02.12 |
| 申请人 |
ZYGO CORPORATION;HILL, HENRY, A. |
发明人 |
HILL, HENRY, A. |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/00;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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