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发明名称 HYBRID SCANNING SYSTEM AND METHODS FOR ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 EP1336190(A2) 申请公布日期 2003.08.20
申请号 EP20010997830 申请日期 2001.11.21
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. 发明人 BERRIAN, DONALD, W.;POLLOCK, JOHN, D.;VANDERPORT, JOHN, W.
分类号 C23C14/48;H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/304 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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