通路可靠性与e束探测诊断法

摘要

通过在电子器件内确定造成器件故障的故障网格，测试IC器件等电子器件。识别了故障网格后，对它局部加应力。加应力时，只使该被测网格受应力，对器件的其余网格与元件不加应力。在故障网格受应力时，观察该故障网格产生的信号变化。这样测试有助于把故障网格识别为器件的故障源。

主权项

1.一种在其输出指示IC故障的IC器件中识别故障网格的方法，其特征在于该方法包括：观察网格产生的指示故障的信号，确定潜在故障网格；在不影响其它IC器件网格的情况下，对该潜在故障网格加应力；和观察该潜在故障网格响应于该应力产生的信号变化，据此把该潜在故障网格识别为IC器件的故障网格。