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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING GROUP III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 SG97940(A1) 申请公布日期 2003.08.20
申请号 SG20000005487 申请日期 1998.08.01
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 YASUSHI IYECHIKA;YOSHINOBU ONO;TOMOYUKI TAKADA;MASAYA SHIMIZU
分类号 H01L21/205;H01L33/00;H01L33/32;(IPC1-7):H01L33/00;C30B23/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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