Method and system for depositing films,申请号EP19980107960-传众专利搜索

发明名称	Method and system for depositing films
摘要
申请公布号	EP0877098(B1)	申请公布日期	2003.08.20
申请号	EP19980107960	申请日期	1998.04.30
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	CHEUNG, DAVID;YAU, WAI-FAN;FENG, JOE;HUANG, JUDY H.;DESHPANDE, MADHU
分类号	H01L21/31;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/52;H01L21/027;(IPC1-7):C23C16/30	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
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