| 发明名称 |
CLEANING APPARATUS USING A LASER BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG97927(A1) |
申请公布日期 |
2003.08.20 |
| 申请号 |
SG20000004942 |
申请日期 |
2000.08.29 |
| 申请人 |
KUBOTA CORPORATION |
发明人 |
MASAYUKI YAO;HIROKI HARA;HIROSHI IMACHI;MAKOTO MAEDA;YOSHITO HAYAKAWA |
| 分类号 |
B08B7/00;B23K26/06;B23K26/073;G02B27/28;H01L21/268;H01L21/304;(IPC1-7):B08B7/00 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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