发明名称 喷墨印头晶片及其制造方法
摘要 一种喷墨印头晶片的制造方法,用以在一基板上形成该喷墨印头晶片,该基板上方具有构图的一热阻层及一导电层,该方法包括以下步骤:在该导电层与该热阻层上方形成一绝缘层;在该绝缘层上方形成一金属层,并对该金属层及该绝缘层构图,用以限定一接触窗,该接触窗挖穿该金属层与该绝缘层到达该导电层上方;在该接触窗之中形成一金属插销;以及形成该喷墨印头晶片。本发明还涉及一种喷墨印头晶片。
申请公布号 CN1118375C 申请公布日期 2003.08.20
申请号 CN98109867.3 申请日期 1998.06.08
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 王介文;李明玲;蓝元亮;吴义勇;王惠芳
分类号 B41J2/14;B41J2/16 主分类号 B41J2/14
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 李晓舒
主权项 1.一种喷墨印头晶片的制造方法,用以在一基板上形成该喷墨印头晶片,该基板上方具有构图的一热阻层及一导电层,该方法包括以下步骤:在该导电层与该热阻层上方形成一绝缘层;在该绝缘层上方形成一金属层,并对该金属层及该绝缘层构图,用以限定一接触窗,该接触窗挖穿该金属层与该绝缘层到达该导电层上方;在该接触窗之中形成一金属插销;以及形成该喷墨印头晶片。
地址 台湾省新竹县