| 发明名称 |
METHOD FOR STRIPPING COPPER IN DAMASCENE INTERCONNECTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG97889(A1) |
申请公布日期 |
2003.08.20 |
| 申请号 |
SG20000002961 |
申请日期 |
2000.05.31 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD |
发明人 |
SUBHASH GUPTA;SIMON CHOOI;PAUL HO;ZHOU MEI SHENG |
| 分类号 |
C23F1/34;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):C23G1/10;C23G1/06 |
主分类号 |
C23F1/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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