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发明名称 Method for etching polycide structures
摘要
申请公布号 EP0814500(B1) 申请公布日期 2003.08.20
申请号 EP19970304214 申请日期 1997.06.17
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 PAN, SHAOHER;XU, SONGLIN
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01J37/32 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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