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发明名称 A DOUBLE SUBSTRATE REFLECTIVE SPATIAL LIGHT MODULATOR WITH SELF-LIMITING MICRO-MECHANICAL ELEMENTS
摘要
申请公布号 EP1116063(A4) 申请公布日期 2003.08.20
申请号 EP19980949533 申请日期 1998.09.24
申请人 REFLECTIVITY INC. 发明人 HUIBER, ANDREW, GERRIT
分类号 B81B3/00;G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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