发明名称 |
A METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR STRUCTURES AND A SEMICONDUCTOR STRUCTURE FORMED THEREBY |
摘要 |
|
申请公布号 |
SG97821(A1) |
申请公布日期 |
2003.08.20 |
申请号 |
SG19990005841 |
申请日期 |
1999.11.17 |
申请人 |
INSTITUTE OF MATERIALS RESEARCH AND ENGINEERING |
发明人 |
SYAMAL KUMAR LAHIRI;DOMINIQUE MANGELINCK;CHI DONGZHI |
分类号 |
H01L21/336;H01L29/49;(IPC1-7):H01L21/283 |
主分类号 |
H01L21/336 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|