发明名称 A METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR STRUCTURES AND A SEMICONDUCTOR STRUCTURE FORMED THEREBY
摘要
申请公布号 SG97821(A1) 申请公布日期 2003.08.20
申请号 SG19990005841 申请日期 1999.11.17
申请人 INSTITUTE OF MATERIALS RESEARCH AND ENGINEERING 发明人 SYAMAL KUMAR LAHIRI;DOMINIQUE MANGELINCK;CHI DONGZHI
分类号 H01L21/336;H01L29/49;(IPC1-7):H01L21/283 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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