| 发明名称 |
RESIST STRIPPING COMPOSITION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG97932(A1) |
申请公布日期 |
2003.08.20 |
| 申请号 |
SG20000005155 |
申请日期 |
2000.09.12 |
| 申请人 |
MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. |
发明人 |
KAZUTO IKEMOTO;KOJIRO ABE;TETSUO AOYAMA |
| 分类号 |
H01L21/308;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/26;C11D7/32;C11D11/00;G03F7/40;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/310 |
主分类号 |
H01L21/308 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
