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发明名称
摘要
申请公布号 JP3438363(B2) 申请公布日期 2003.08.18
申请号 JP19940310182 申请日期 1994.12.14
申请人 发明人
分类号 C23C14/48;G01T1/29;H01J37/244;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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