| 摘要 |
即使在由基板(10)通过避液部(30)之出口的阶段中开始以下游侧之药液处理部来进行药液吐出操作的情况下，亦可防止上游侧之承接部中之药液污染。为了实现此种目的，将避液部(30)之全长(L1)设成大于基板(10)之长度(L2)，且将闸门(34a、34b)设于避液部(30)之基板入口及出口。接避液部(30)内藉由至少1个隔墙(32a、32b)而于基板搬送方向区隔呈多数室(33a、33b、33c)，除了避液部(30)内之最上游侧之室(33a)以外，将至少1室(33b)吸附呈负压状。将避液部(30)中之最上游侧之室(33a)管理呈常压或正压状。当基板(10)之前端到达至下游侧之药液处理部中之药液吐出开始位置的时间点下，将隔墙位置设定呈，基板(10)之后端为脱离避液部(30)中之最上游侧之室(33a)。使避液部(30)中之上游侧之室(33a)经常地维持呈洁净之环境气体(atmosphere)，在与避液部(30)之上游侧连接之部分上为形成经常洁净状之区域。 |
