发明名称 MICRO-COMPOSANT DU TYPE MICRO-INTERRUPTEUR ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL MICRO-COMPOSANT
摘要 <P>L'invention concerne un micro-composant (1) du type micro-switch.Ce micro-composant se caractérise en ce qu'il comporte : . une piste de propagation du signal (2), et deux pistes de masse coplanaires (6, 7), réalisées sur un substrat;. une structure déformable (11) enjambant lesdites pistes (2, 6, 7) en étant reliée au substrat de part et d'autre desdites pistes, ladite structure déformable (11) comportant au moins une couche diélectrique et deux zones conductrices formant électrodes, situées au-dessus de la couche diélectrique, et chacune à l'aplomb d'une piste de masse (6, 7);un élément conducteur (15) situé sur la structure déformable (11), sous la couche diélectrique et en dessous du plan des électrodes. </P>
申请公布号 FR2835963(A1) 申请公布日期 2003.08.15
申请号 FR20020001611 申请日期 2002.02.11
申请人 MEMSCAP 发明人 HEDSTROM MARTIN
分类号 H01H59/00;H01P1/12;(IPC1-7):H01H59/00;B81B7/02 主分类号 H01H59/00
代理机构 代理人
主权项
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