| 发明名称 |
PROCEDE DE MESURE ELLIPSOMETRIQUE AVEC RESOLUTION SPATIALE |
| 摘要 |
<P>(PAS DE DEMANDE PUBLIEE SOUS CE NUMERO)</P>
|
| 申请公布号 |
FR2837573(A1) |
申请公布日期 |
2003.08.15 |
| 申请号 |
FR20010016610 |
申请日期 |
2001.12.20 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS |
发明人 |
AUSSERRE DOMINIQUE;VALIGNAT MARIE PIERRE |
| 分类号 |
G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21 |
主分类号 |
G01N21/21 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
