Hochgeschwindigkeits- Testmusterübertragungsvorrichtung für eine Halbleitertestvorrichtung

摘要

Die vorliegende Erfindung dient dazu, den Durchsatz eines Halbleitertesters durch Vereinfachung der Übertragungswege zur Übertragung von Testmustern zu vereinfachen, um somit die Zeit zur Datenübertragung zu verkürzen. Die vorliegende Erfindung umfaßt eine Schnittstelle 13a, die in der Prüfsteuerung 13 vorgesehen ist, wobei zuerst ein Testmuster 100 in einer Workstation EWS 12 direkt durch eine Schnittstelle 14a über die Schnittstelle 13a in Verbindung tritt und dann die Datenübertragung durch die Prüfsteuerung 13 erfolgt.