METHOD FOR COATING THE QUARTZ BURNER OF AN HID LAMP

摘要

Um die Energiebilanz der HID-Lampe zu erhöhen, sieht die Erfindung eine Beschichtung des Quarzbrenners mit einem UV-reflektierenden Schichtsystem, vorzugsweise auf dessen Innenseite vor, und zwar durch alternierendes Aufbringen von amorphen Dünnschichten aus mindestens Titanoxid und Silizimoxid in der allgemeinen Stöchiometrie TiOy und SiOx mittels eines PICVD-Verfahrens mit hoher Leistungsdichte und erhöhten Substrat-Temperaturen im Bereich von 100° - 400° C mit kleinen Aufwuchsraten im Bereich von 1 nm/sec - 100 nm/sec zu einem Interferenz-Schichtsystem mit einer Dicke von unter 1200 nm und einem minimierten UV-wirksamen Fehlstellenanteil im Bereich von 0,1 % bis 1 %.