Verfahren zum Herstellen eines Kondensators in einer Dielektrikumschicht

摘要

Bei einem Verfahren zum Herstellung eines Kondensators (92) in einer ersten Dielektrikumschicht (20) wird eine Ausnehmung (40) in einer Oberfläche (22) der ersten Dielektrikumschicht (20) gebildet. Auf der Oberfläche (22) der ersten Dielektrikumschicht (20) und in der Ausnehmung (40) wird eine erste leitfähige Schicht (60) gebildet. Auf der ersten leitfähigen Schicht (60) wird eine zweite Dielektrikumschicht (70) gebildet, wobei die Summe einer Dicke der ersten leitfähigen Schicht (60) und einer Dicke der zweiten Dielektrikumschicht (70) in der Ausnehmung (40) kleiner ist als eine Tiefe der Ausnehmung (40). Auf der zweiten Dielektrikumschicht (70) wird eine zweite leitfähige Schicht (80) gebildet. Durch Planarisieren der so gebildeten Schichtstruktur erhält man einen Kondensator.