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发明名称 DIELECTRIC FILM AND METHOD OF FORMING IT, SEMICONDUCTOR DEVICE, NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE, AND PRODUCTION METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20030067735(A) 申请公布日期 2003.08.14
申请号 KR20037008799 申请日期 2003.06.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01B3/00;H01B3/02;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/8234;H01L21/8239;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/105;H01L27/115;H01L27/12;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/786;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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