发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SHADOW MASK AND APPARATUS FOR COATING ETCHING-RESISTANT LAYER FOR MANUFACTURING SHADOW MASK
摘要
申请公布号 KR20030067526(A) 申请公布日期 2003.08.14
申请号 KR20030007187 申请日期 2003.02.05
申请人 发明人
分类号 C23F1/00;H01J29/07;C23F1/08;H01J9/14 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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