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发明名称 Elektronenstrahl-angeregter Plasmaerzeuger
摘要
申请公布号 DE69812226(T2) 申请公布日期 2003.08.14
申请号 DE19986012226T 申请日期 1998.06.09
申请人 KAWASAKI JUKOGYO K.K., KOBE 发明人 RYOJI, MAKOTO;TOKAI, MASAKUNI;MORI, YUKITAKA;HASEGAWA, TAKESHI;BAN, MASAHITO
分类号 H05H1/46;C23C14/32;C23F4/00;H01J27/20;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H05H1/24;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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