发明名称 | 罩幕式只读存储器的测试元件及方法 | ||
摘要 | 一种罩幕式只读存储器的测试元件及方法,用以找出罩幕式只读存储器的阵列漏电途径。此测试元件包括配置在一基底上的数个位线以及配置在此基底上的数个字符线,其中字符线与位线互相垂直。且每一位线两端未覆盖有字符线的区域,其总长度介于3微米至30微米之间。 | ||
申请公布号 | CN1435889A | 申请公布日期 | 2003.08.13 |
申请号 | CN02102847.8 | 申请日期 | 2002.01.28 |
申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 范左鸿;叶彦宏;詹光阳;刘慕义;卢道政 |
分类号 | H01L27/112;H01L21/66;H01L21/8246;G01R31/28 | 主分类号 | H01L27/112 |
代理机构 | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人 | 王学强 |
主权项 | 1、一种罩幕式只读存储器的测试元件,用以找出该罩幕式只读存储器的阵列漏电途径,该元件至少包括:多个位线,配置在一基底上;以及多个字符线,配置在该基底上,且该些字符线与该些位线互相垂直,其特征是,每一该些位线两端未覆盖有该些字符线的一总长度介于3微米至30微米之间。 | ||
地址 | 台湾省新竹科学工业园区力行路16号 |