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经营范围
发明名称
WAFER SCRUBBING DEVICE
摘要
申请公布号
EP0847311(B1)
申请公布日期
2003.08.13
申请号
EP19970907958
申请日期
1997.02.28
申请人
SOLID STATE EQUIPMENT CORP.
发明人
ITZKOWITZ, HERMAN
分类号
B08B1/04;B08B3/04;G11B23/50;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/02;B08B11/02
主分类号
B08B1/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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