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发明名称 MICROMECHANICAL COMPONENT AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号 EP1334060(A1) 申请公布日期 2003.08.13
申请号 EP20010992685 申请日期 2001.10.06
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 BENZEL, HUBERT;WEBER, HERIBERT;ARTMANN, HANS;SCHAEFER, FRANK
分类号 G01P15/125;B81B3/00;B81C1/00;H01L29/84;(IPC1-7):B81B3/00 主分类号 G01P15/125
代理机构 代理人
主权项
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