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发明名称
INTEGRATED ROLLER TRANSPORT POD AND ASYNCHRONOUS CONVEYOR
摘要
申请公布号
EP1334051(A2)
申请公布日期
2003.08.13
申请号
EP19990930726
申请日期
1999.06.24
申请人
ASYST TECHNOLOGIES, INC.
发明人
BONORA, ANTHONY, C.;GOULD, RICHARD, H.
分类号
B61B13/00;B65G25/00;B65G13/04;B65G13/071;B65G13/10;B65G37/02;B65G43/00;B65G43/10;B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):B65G1/00
主分类号
B61B13/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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