发明名称 INTEGRATED ROLLER TRANSPORT POD AND ASYNCHRONOUS CONVEYOR
摘要
申请公布号 EP1334051(A2) 申请公布日期 2003.08.13
申请号 EP19990930726 申请日期 1999.06.24
申请人 ASYST TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BONORA, ANTHONY, C.;GOULD, RICHARD, H.
分类号 B61B13/00;B65G25/00;B65G13/04;B65G13/071;B65G13/10;B65G37/02;B65G43/00;B65G43/10;B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):B65G1/00 主分类号 B61B13/00
代理机构 代理人
主权项
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