| 发明名称 | 集成铁电微镜式光开关 | ||
| 摘要 | 集成铁电微镜式光开关属于光通信用的微型光开关领域，其特征在于：它包含有铁电薄膜悬臂梁及与该梁做成一体的微反射镜，所述的铁电膜可以是单层、双层或多层；所述的悬臂梁是绝缘层/金属/铁电材料/金属/绝缘材料/衬底层构成的多层膜结构；悬臂梁衬底材料是Si或GaAS或GaN或InP半导体材料或它们的复合。相应地给出了一种SiO<SUB>2</SUB>/Pt/PZT(锆钛酸铅)/Pt/Ti/SiO<SUB>2</SUB>/Si复合膜的例子。同时给出了典型的集成铁电微镜式光开关的制作流程图。与现有的可动镜式光开关相比，它具有体积小、结构简单、容易控制与操作、可靠性高、易加工且适合批量生产等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN2566285Y | 申请公布日期 | 2003.08.13 |
| 申请号 | CN02243923.4 | 申请日期 | 2002.07.31 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 任天令;刘理天;徐杨 |
| 分类号 | G02B6/35;G02B6/28;H04J14/02 | 主分类号 | G02B6/35 |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1.集成铁电微镜式光开关，其特征在于：它含有铁电薄膜悬臂梁以及与该梁做成一体的微反射镜。 | ||
| 地址 | 100084北京市100084－82信箱 | ||