等离子体显示面板的前板的制造方法

摘要

一种制作等离子体显示面板的前板的改良方法，由变更步骤顺序和背面曝光技术，达到减少光掩模使用数目并提高曝光显影精确度的效果。所述方法：用网版印刷程序，或用第一光掩模对遮光层进行曝光显影程序，定义出遮光层图案，包括遮光带和透明电极的间隙图案；用该遮光层图案作光掩模，施行背面曝光、显影程序，再经蚀刻程序，在基板表面上形成多对透明电极；用第二光掩模进行另一次曝光、显影、蚀刻程序而在对应的透明电极上定义出多对金属电极。

主权项

1.一种等离子体显示面板的前板的制造方法，包括下列步骤：在一基板表面上形成一遮光层；利用一第一光掩模对该遮光层进行一曝光显影程序，用以定义出遮光层图案，其中包括遮光带图案和透明电极的间隙图案；形成一透明导电层，覆盖在该遮光层图案和该基板露出的表面上；涂布一第一光刻胶层于该透明导电层上；利用该遮光层图案当作光掩模，对该第一光刻胶层进行一背面曝光显影程序，用以定义图案而露出该透明导电层位于该遮光层图案表面上的部分；依序去除露出的该透明导电层和该第一光刻胶层，在该基板表面上留下多对透明电极；形成一多层构造金属层，覆盖在该透明电极和该遮光层图案上；在该多层构造金属层上涂布一第二光刻胶层；利用一第二光掩模对该第二光刻胶层进行另一曝光显影程序，用以定义出第二光刻胶层图案，从而盖住欲形成金属电极的区域；利用该第二光刻胶层图案当作掩模，蚀刻该多层构造金属层以形成多对金属电极，其分别位于对应的该多对透明电极上；以及去除该第二光刻胶层图案。