| 发明名称 |
A METHOD FOR MONITORING LINE WIDTH OF ELECTRONIC CIRCUIT PATTERNS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1334407(A2) |
申请公布日期 |
2003.08.13 |
| 申请号 |
EP20010996883 |
申请日期 |
2001.11.14 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
ZIGER, DAVID, H. |
| 分类号 |
G01B11/02;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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