金刚石膜气体检测传感器

摘要

本实用新型涉及一种包含金刚石膜/纳米金刚石膜，用于检测气体的传感器。该传感器包括：衬底、在衬底的一个面上有一层金刚石膜/纳米金刚石膜；其特征在于：在金刚石膜/纳米金刚石膜上的两边各设置一条形金属电极，Au丝测量引线连接在其上；在衬底的另一面制作一金属加热电阻，加热电阻的测量引线连接在加热电阻两端的。本实用新型的金刚石膜/纳米金刚石膜气体传感器具有高选择性，高灵敏度，快速的响应与恢复，良好的一致性及耐高温和抗辐射等高稳定性的优点，同时具有工艺简单，便于集成化的特点，因而适于大批量、低成本生产。

主权项

1.一种用于检测气体的传感器，包括：衬底、在衬底的一个面上有一层金刚石膜/纳米金刚石膜；其特征在于：在金刚石膜/纳米金刚石膜上的两边各设置一条形金属测量电极，Au丝测量引线连接在其上；在衬底的另一面制作一金属加热电阻，加热电阻的测量引线连接在加热电阻两端的。