发明名称 生产超高纯氮的低温系统
摘要 进一步纯化氮气的方法,由此生产基本不含氢、氧和一氧化碳的超高纯氮,其中氮气在温度150k或低于150k的温度下与含金属的吸附剂进行接触。
申请公布号 CN1117697C 申请公布日期 2003.08.13
申请号 CN98123488.7 申请日期 1998.10.29
申请人 普莱克斯技术有限公司 发明人 M·L·马科斯基;小T·J·伯格曼;J·K·霍维尔;小J·P·纳特沃拉;D·R·汤普森
分类号 C01B21/04;F25J3/02;B01J38/02;B01D53/04;//B01D17110 主分类号 C01B21/04
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 魏金玺;罗才希
主权项 1.生产超高纯氮的低温化学吸附方法,该方法包括在150K或更低的温度下使含有氢、氧或一氧化碳中的一种或多种杂质的氮气与含镍、铜、钯和铁中至少一种的含金属吸附剂相接触,生产氢、氧和一氧化碳的含量少于1ppb的超高纯氮。
地址 美国康涅狄格州