发明名称 气体移送机
摘要 本发明提供一种譬如用作真空帮浦之气体移送机,具有安装在可旋转轴杆上用以移送气体之帮浦转子,及用以转动该可旋转轴杆之磁阻型马达。该磁阻型马达具有定子、围绕着该定子之马达转子、及使该定子与该马达转子绝缘之屏蔽构件。该马达转子系直接耦合至该可旋转轴杆及具有多数磁性之凸极。
申请公布号 TW546444 申请公布日期 2003.08.11
申请号 TW089115668 申请日期 2000.08.04
申请人 荏原制作所股份有限公司 发明人 小岛善德;中泽敏治;关口信一;野路伸治
分类号 F04D29/20 主分类号 F04D29/20
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区博爱路八十号六楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路八十号六楼
主权项 1.一种气体移送机,用以移送具腐蚀性之气体,此气体移送机包含:安装在可旋转轴杆上用以移送气体之帮浦转子;及用以绕着其自身轴心转动该可旋转轴杆之磁阻型马达,该可旋转轴杆直接与磁阻型马达耦合,该帮浦转子及该马达系配设于外壳内,其中该马达包括具有由高抗腐蚀性之第一种材料制成之多数磁性凸极之转子,以及由高抗腐蚀性之第二种材料覆盖之定子。2.根据申请专利范围第1项之气体移送机,其中之该第二种材料包含合成树脂之模铸体,并具有径向朝内地定位在该定子内部周边表面之表面,该定子系嵌进该合成树脂之模铸体。3.根据申请专利范围第1项之气体移送机,其中之该第二种材料包含合成树脂或不导电材料之罐子。4.根据申请专利范围第1项之气体移送机,其中之该高抗腐蚀性之第一种材料包含铁与镍之磁性合金。5.根据申请专利范围第1项之气体移送机,其中之该高抗腐蚀性之第一种材料包含高导磁合金。6.根据申请专利范围第1项之气体移送机,其中之该高抗腐蚀性之第二种材料包含合成树脂之模铸体。7.根据申请专利范围第1项之气体移送机,其中之该高抗腐蚀性之第二种材料包含由合成树脂或非导电性材料制成之罐子。8.根据申请专利范围第1项之气体移送机,其中之该马达转子具有分别配设于该磁性凸极之多数个永久性磁铁。9.根据申请专利范围第1项之气体移送机,该气体移送机包含具有循环风扇之循环装置。10.根据申请专利范围第1项之气体移送机,该气体移送机包含真空帮浦。图式简单说明:第1图系习知气体移送机之轴向横断面视图;第2图系取自第1图剖线II-II之横断面视图;第3图系根据本发明第一气体移送机实施例之轴向横断面视图;第4图系取自第3图剖线IV-IV之横断面视图;第5A,5B及5C图系第4图中所示磁阻型马达之操作原理之说明性横断面视图;第6图系第4图中所示磁阻型马达之一种修改形式之横断面视图;及第7图根据本发明气体移送机第二实施例之轴向横断面视图。
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