Verfahren zur Herstellung eines Sputtertargetmaterials

摘要

Die Erfindung stellt ein Verfahren zur Herstellung eines Sputtertargetmaterials bereit, umfassend eine Elektrolyse eines geschmolzenen Salzgemisches, welche ein Edelmetallsalz und ein Lösesalz enthält, um dadurch ein Edelmetall oder eine Edelmetallegierung abzuscheiden. Das Verfahren ermöglicht eine Vereinfachung von Verfahrensschritten und erzeugt hochreine Targetmaterialien. Zusätzlich wird das elektroabgeschiedene Edelmetall oder die elektroabgeschiedene Edelmetallegierung bei einer Temperatur von mindestens 800 DEG C, aber unterhalb des Schmelzpunkts des Edelmetalls wärmebehandelt, um dadurch ein Targetmaterial höherer Reinheit herzustellen.