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Eine elektrostatische Betätigungsvorrichtung, bei der ein bewegliches Bauglied durch einen beweglichen Verbindungsbalken mit einem Bewegliches-Bauglied-Befestigungsabschnitt verbunden ist, so daß das bewegliche Bauglied in der x-Achsen-Richtung verschoben werden kann. Antriebselektrodentrageabschnitte sind durch Antriebsverbindungsbalken mit Antriebselektrodenbefestigungsabschnitten verbunden, so daß sich dieselben zu und weg voneinander bewegen können. Zwischenraumgrößen a, b und c zwischen ersten beweglichen Elektroden zu dritten beweglichen Elektroden und jeweiligen ersten Antriebselektroden zu dritten Antriebselektroden sind sukzessive größer eingestellt. Wenn die Betätigungsvorrichtung in Betrieb ist, wird das bewegliche Bauglied in einer Mehrzahl von Stufen durch eine elektrostatische Kraft verschoben, die sukzessive zwischen der ersten beweglichen Elektrode und der ersten Antriebselektrode, der zweiten beweglichen Elektrode und der zweiten Antriebselektrode und der dritten beweglichen Elektrode und der dritten Antriebselektrode erzeugt wird. Dadurch ist es möglich, daß das bewegliche Bauglied eine hohe Starrheit (Resonanzfrequenz) aufweist und sich auf stabile Weise bewegt, so daß der Verschiebungsbetrag desselben groß eingestellt werden kann. Indem das bewegliche Bauglied sukzessive durch die Mehrzahl von Antriebselektroden verschoben wird, kann das bewegliche Bauglied bei der vorliegenden Erfindung eine hohe Starrheit aufweisen und kann stark verschoben werden, ...
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