发明名称 Fotoempfindliches Harz auf Basis von verseiftem Polyvinylacetat, dieses Harz enthaltende fotoempfindliche Zusammensetzung, und Verfahren zur Herstellung von Mustern unter Verwendung dieser Zusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69909195(D1) 申请公布日期 2003.08.07
申请号 DE1999609195 申请日期 1999.08.04
申请人 TOYO GOSEI KOGYO CO. LTD., ICHIKAWA 发明人 TOCHIZAWA, NORIAKI;MIYAZAKI, MITSUHARU;ITO, TAKAHO
分类号 G03F7/004;G03F7/00;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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