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发明名称 Ausrichtgerät und -verfahren
摘要
申请公布号 DE69628873(D1) 申请公布日期 2003.08.07
申请号 DE19966028873 申请日期 1996.04.10
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 SEKIGUCHI, HIROYUKI
分类号 G03F9/00;B23Q15/00;B23Q15/22;G01B11/00;G03F7/20;G05B13/02;G05B19/00;G05B19/23;G05D3/12;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):G01B11/00;G05B19/19;G05D3/14 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
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