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<p>Auf eine Basisschicht (3), die vorzugsweise flexibel ist, sind nacheinander erste Leiterbahnen (5), eine erste Isolationsschicht (6), Feinstrukturen mit ersten Elektroden (51), zweiten Leiterbahnen (7) und zweiten Elektroden (71) und abschliessend eine feuchteempfindliche Schicht (8) aufgebracht. Die ersten Elektroden (51) sind über Durchkontaktierungen mit zugeordneten ersten Leiterbahnen (5) verbunden. Ein Verfahren zur Herstellung des Sensorfeldes wird vorgestellt.</p> |
