发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING GLASS-SILICON-GLASS SANDWICH STRUCTURES |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1332106(A2) |
申请公布日期 |
2003.08.06 |
申请号 |
EP20010993578 |
申请日期 |
2001.11.07 |
申请人 |
GESIM GESELLSCHAFT FUER SILIZIUM-MIKROSYSTEME MBH |
发明人 |
HOWITZ, STEFFEN |
分类号 |
B81B1/00;B81C1/00;(IPC1-7):B81B1/00 |
主分类号 |
B81B1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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