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发明名称 STORAGE MEDIUM AND METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 EP1156523(A4) 申请公布日期 2003.08.06
申请号 EP19990905204 申请日期 1999.02.17
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 NAKAYAMA, KATSUTOSHI;KOJIMA, SATOSHI;ODA, SYOUHEI
分类号 G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G06F17/50
代理机构 代理人
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