SLURRY FOR CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING METAL SURFACES,申请号EP19990916387-传众专利搜索

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发明名称	SLURRY FOR CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING METAL SURFACES
摘要
申请公布号	EP1086484(A4)	申请公布日期	2003.08.06
申请号	EP19990916387	申请日期	1999.04.05
申请人	FERRO CORPORATION	发明人	PRENDERGAST, JOHN, E.;HER, YIESHEIN;BABU, SURYADEVARA, V.;LI, YUZHUO;HARIHARAPUTHIRAN, MARIAPPAN
分类号	C09G1/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/00;B44C1/22	主分类号	C09G1/00
代理机构		代理人
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