| 发明名称 |
REAL TIME MONITORING FOR SIMULTANEOUS IMAGING AND EXPOSURE IN CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1332510(A1) |
申请公布日期 |
2003.08.06 |
| 申请号 |
EP20010973743 |
申请日期 |
2001.09.20 |
| 申请人 |
FEI COMPANY |
发明人 |
CHAO, PETER, S.;ROSENBERG, STEVE |
| 分类号 |
H01J37/22;H01J37/30;G01Q20/04;H01J37/304;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/304 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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