发明名称 | 真空层压设备 | ||
摘要 | 一种真空层压设备,它适用于对堆积体进行真空层压,此真空层压设备包括:具有前表面的安装台,上面设有所述堆积体;由环形空心管组成的抽真空管,沿其内周相间隔开地开有一批通风孔,此抽真空管布设并固定于安装台的前表面上,特征在于:上述安装台包括一钢板,此钢板具有中心线平均高度为0.2至1.5μm的前表面,所述抽真空管由设在钢板前表面与抽真空管之间接触区上的间断式焊接部固定到此钢板的前表面上,同时将密封剂布设到这一整个的接触区上,由此使抽真空管与钢板成为整体。本发明实现了一种大尺寸的真空层压设备。安装台与抽真空管是大尺寸的,不存在常规真空层压设备中当安装台与抽真空管大尺寸化时带来的问题。 | ||
申请公布号 | CN1434520A | 申请公布日期 | 2003.08.06 |
申请号 | CN02119956.6 | 申请日期 | 1997.08.13 |
申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 吉野豪人;深江公俊;井上裕二;丝山诚纪 |
分类号 | H01L31/18 | 主分类号 | H01L31/18 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王景林 |
主权项 | 1.一种真空层压设备,它适用于对堆积体进行真空层压,此真空层压设备包括:具有前表面的安装台,上面设有所述堆积体;由环形空心管组成的抽真空管,沿其内周相间隔开地开有一批通风孔,此抽真空管布设并固定于安装台的前表面上,特征在于:上述安装台包括一钢板,此钢板具有中心线平均高度为0.2至1.5μm的前表面,所述抽真空管由设在钢板前表面与抽真空管之间接触区上的间断式焊接部固定到此钢板的前表面上,同时将密封剂布设到这一整个的接触区上,由此使抽真空管与钢板成为整体。 | ||
地址 | 日本东京 |